반도체 : 논문 ; UV 노광과 RTA 공정의 도입이 Sol-Gel 법으로 제조한 강유전성 Sr0.9Bi2.1Ta1.8Nb0.2O9 박막의 결정성 및 유전/전기적 특성에 미치는 영향
김영준, 강동균, 김병호
Effects of the Introduction of UV Irradiation and Rapid Thermal Annealing Process to Sol-Gel Method Derived Ferroelectric Srp0.9Bi2.1Ta1.8Nb0.2O9 Thin Films on Crystallization and Dielectric/Electrical Properties
Yeong Jun Kim, Dong Gyun Kang, Byeong Ho Kim
J Electr Electron Mater 2004;17(1):7-15.
Published online: January 1, 2004